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  • 產(chǎn)品中心

    “中國芯”關(guān)鍵材料國產(chǎn)化

    2,2,4,4-四甲硅烷基戊硅烷 (BNS)
    • 中文名:2,2,4,4-四甲硅烷基戊硅烷
    • 英文名:2,2,4,4-Tetrasilylpentasilane
    • CAS號(hào):1668602-96-7
    • 純度:≥98.0%
    • 用途:在低溫通過化學(xué)氣相沉積(CVD)快速形成外延硅和多晶硅
    • 規(guī)格:公斤級(jí)
    新戊硅烷(NPS)
    • 中文名:新戊硅烷
    • 英文名:Neopentasilane
    • CAS號(hào):15947-57-6
    • 純度:≥99.0%
    • 用途:在低溫通過化學(xué)氣相沉積(CVD)快速形成外延硅和多晶硅
    • 規(guī)格:公斤級(jí)
    四氯化鈦 (Ticl?)
    • 中文名:四氯化鈦
    • 英文名:Titanium tetrachloride
    • CAS號(hào):7550-45-0
    • 熔點(diǎn):-25℃
    • 沸點(diǎn):135 - 136 °C
    • 蒸氣壓:12.8 hPa 在 20 °C
    • 產(chǎn)品等級(jí):6N
    • 規(guī)格:15kg
    四乙氧基硅烷 (TEOS)
    • 中文名:四乙氧基硅烷
    • 英文名:Tetraethoxysilane
    • CAS號(hào):1978-10-4
    • 熔點(diǎn):-82.49℃
    • 沸點(diǎn):168°C
    • 蒸氣壓:10.0 hPa 在 20℃
    • 產(chǎn)品等級(jí):9N
    • 規(guī)格:17.7kg、35kg、200kg
    雙(二乙氨基)硅烷 (BDEAS)
    • 中文名: 雙(二乙氨基)硅烷
    • 英文名:Bis(diethylamino)silane
    • CAS號(hào):27804-64-4
    • 熔點(diǎn):<-10℃
    • 沸點(diǎn):188℃
    • 產(chǎn)品等級(jí):5N
    • 規(guī)格:10kg
    六氯乙硅烷(HCDS)
    • 中文名:六氯乙硅烷
    • 英文名:Hexachlorodisilane
    • CAS號(hào):13465-77-5
    • 沸點(diǎn):144 - 145.5℃
    • 產(chǎn)品等級(jí):6N
    • 規(guī)格:13kg
    八甲基環(huán)四硅氧烷 (OMCTS)
    • 中文名:八甲基環(huán)四硅氧烷
    • 英文名:Octamethyl cyclotetrasiloxane
    • CAS號(hào):556-67-2
    • 熔點(diǎn):17-19℃
    • 沸點(diǎn):175-176℃
    • 蒸氣壓:1 mmHg (21.7℃)
    • 產(chǎn)品等級(jí):7N5
    • 規(guī)格:10kg、18kg、200kg
    四甲基硅烷 (4MS)
    • 中文名:四甲基硅烷
    • 英文名:Tetramethylsilane
    • CAS號(hào):75-76-3
    • 熔點(diǎn):-99℃
    • 沸點(diǎn):26-28℃
    • 產(chǎn)品等級(jí):7N5
    • 規(guī)格:10kg、20kg、110kg、125kg
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