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    “中國芯”關鍵材料國產化

    三甲硅烷基胺 （TSA）
    • 中文名：三甲硅烷基胺
    • 英文名：Trisilylamine
    • CAS號：13862-16-3
    • 用途：通過流動化學氣相沉積（FCVD）形成氧化硅
    • 純度指標：99.65%
    • 規格：公斤級
    二異丙氨基硅烷 （DIPAS）
    • 中文名： 二異丙氨基硅烷
    • 英文名：Diisopropylaminosilane
    • CAS號：908831-34-5
    • 用途：形成晶種
    • 純度指標：8N
    • 規格：公斤級
    三乙硅烷基胺 （TDSA）
    • 中文名：三乙硅烷基胺
    • 英文名：Trisdisilanylamine
    • CAS號：14635-45-1
    • 純度：≥98.0%
    • 用途：通過化學氣相沉積（CVD）或原子層沉積（ALD）形成含硅薄膜
    • 規格：公斤級
    1，1，1-三（二甲氨基）乙硅烷 （TADS）
    1，1，1-三（二甲氨基）乙硅烷 （TADS）
    • 中文名：1，1，1-三（二甲氨基）乙硅烷
    • 英文名：1，1，1-Tris(dimethylamino)disilane
    • CAS號：2273763-87-2
    • 純度：≥99.0%
    • 用途：通過等離子體加強原子層沉積（PEALD）形成高密度氧化硅
    • 規格：公斤級
    二異丙氨基乙硅烷 （DPDS）
    • 中文名：二異丙氨基乙硅烷
    • 英文名：Diisopropylaminodisilane
    • CAS號：151625-25-1
    • 純度：≥99.0%
    • 用途：通過氣相沉積形成晶種層
    • 規格：公斤級
    1，1-二氯-1-二異丙氨基乙硅烷 （DCDADS）
    • 中文名：1，1-二氯-1-二異丙氨基乙硅烷
    • 英文名：1，1-Dichloro-1-diisopropylaminodisilane
    • CAS號：2152681-89-3
    • 純度：≥99.0%
    • 用途：通過等離子體加強原子層沉積（PEALD）形成氮化硅
    • 規格：公斤級
    五氯乙硅烷 （PCDS）
    • 中文名：五氯乙硅烷
    • 英文名：Pentachlorodisilane
    • CAS號：31411-98-0
    • 純度：≥99.0%
    • 用途：通過等離子體加強原子層沉積（PEALD）形成氮化硅
    • 規格：公斤級
    1，1，1-三氯乙硅烷 （3CDS）
    • 中文名：1，1，1-三氯乙硅烷
    • 英文名：1，1，1-Trichlorodisilane
    • CAS號：78228-96-3
    • 純度：≥99.0%
    • 用途：通過等離子體加強原子層沉積（PEALD）形成氮化硅
    • 規格：公斤級
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