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三甲硅烷基胺 (TSA)
中文名:三甲硅烷基胺
英文名:Trisilylamine
CAS號:13862-16-3
用途:通過流動化學氣相沉積(FCVD)形成氧化硅
純度指標:99.65%
規(guī)格:公斤級
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二異丙氨基硅烷 (DIPAS)
中文名: 二異丙氨基硅烷
英文名:Diisopropylaminosilane
CAS號:908831-34-5
用途:形成晶種
純度指標:8N
規(guī)格:公斤級
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三乙硅烷基胺 (TDSA)
中文名:三乙硅烷基胺
英文名:Trisdisilanylamine
CAS號:14635-45-1
純度:≥98.0%
用途:通過化學氣相沉積(CVD)或原子層沉積(ALD)形成含硅薄膜
規(guī)格:公斤級
1,1,1-三(二甲氨基)乙硅烷 (TADS)
中文名:1,1,1-三(二甲氨基)乙硅烷
英文名:1,1,1-Tris(dimethylamino)disilane
CAS號:2273763-87-2
純度:≥99.0%
用途:通過等離子體加強原子層沉積(PEALD)形成高密度氧化硅
規(guī)格:公斤級
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二異丙氨基乙硅烷 (DPDS)
中文名:二異丙氨基乙硅烷
英文名:Diisopropylaminodisilane
CAS號:151625-25-1
純度:≥99.0%
用途:通過氣相沉積形成晶種層
規(guī)格:公斤級
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1,1-二氯-1-二異丙氨基乙硅烷 (DCDADS)
中文名:1,1-二氯-1-二異丙氨基乙硅烷
英文名:1,1-Dichloro-1-diisopropylaminodisilane
CAS號:2152681-89-3
純度:≥99.0%
用途:通過等離子體加強原子層沉積(PEALD)形成氮化硅
規(guī)格:公斤級
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五氯乙硅烷 (PCDS)
中文名:五氯乙硅烷
英文名:Pentachlorodisilane
CAS號:31411-98-0
純度:≥99.0%
用途:通過等離子體加強原子層沉積(PEALD)形成氮化硅
規(guī)格:公斤級
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1,1,1-三氯乙硅烷 (3CDS)
中文名:1,1,1-三氯乙硅烷
英文名:1,1,1-Trichlorodisilane
CAS號:78228-96-3
純度:≥99.0%
用途:通過等離子體加強原子層沉積(PEALD)形成氮化硅
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